本文標(biāo)題："精密加工技術(shù)和精密檢測(cè)用多功能金相顯微鏡常識(shí)"
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精密加工技術(shù)和精密檢測(cè)用多功能金相顯微鏡常識(shí)
精密檢測(cè)技術(shù)是順應(yīng)精密加工技術(shù)的需求出現(xiàn)和
，且伴隨加工技術(shù)的進(jìn)步而發(fā)展。對(duì)工件的檢測(cè)與
評(píng)價(jià)順由檢測(cè)技巧決定。精密加工技術(shù)和精密檢測(cè)
技術(shù)就像汽車上的兩個(gè)輪子，缺一不可。
一般的，加工精度和工件的尺寸之比超過(guò)了10，或
是加工精度的絕對(duì)值為微米級(jí)或超出這一范圍的加
工都可稱為超精密加工。超精密檢測(cè)技術(shù)的精度必
須比對(duì)應(yīng)的超精密加工精度高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
最近，超精密加工的精度要求不斷地提高，對(duì)加工
面形的要求不僅僅是平面或鏡面的加工。而且對(duì)非
球面形狀部件加工的需求也越來(lái)越多。非球面能平
衡光學(xué)誤差，這種優(yōu)越的光學(xué)性能使非球面光學(xué)元
件具備廣泛的應(yīng)用前景。為了能實(shí)現(xiàn)多種形狀的超
精密加工，超精密測(cè)量技術(shù)將被寄予更高的期望。
超精密加工技術(shù)追求的是精度極限，隨著品質(zhì)的
穩(wěn)定和需求的增大，對(duì)高效率加工的要求也就越來(lái)
越高。在高效率加工同時(shí)，為不保證加工精度，須
對(duì)工件精度進(jìn)行測(cè)量。然后及時(shí)將結(jié)果反饋回控制
程序，對(duì)工件進(jìn)行補(bǔ)償加工，從而進(jìn)一步提高工件
的加工精度，顯然，精密測(cè)量技術(shù)在超精密加工中
占據(jù)了重要的地位。
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