本文標(biāo)題:" 材料學(xué)小常識(shí)-上海光學(xué)精密檢測(cè)顯微鏡廠商"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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材料學(xué)小常識(shí)-上海光學(xué)精密檢測(cè)顯微鏡廠商
目前不論半導(dǎo)體工業(yè)或太陽(yáng)能光電產(chǎn)業(yè),因產(chǎn)量需求的增加與原物料矽材的不足,
故生產(chǎn)產(chǎn)品的價(jià)格皆明顯偏高。且于制造生產(chǎn)矽晶的過(guò)程中,皆會(huì)有大量二氧化矽坩堝碎片的生
成,由于此種坩堝碎片的純度相當(dāng)?shù)母撸裟苡枰猿浞只厥铡⒓兓驮偕蔀楦呒兌戎Y(jié)晶
石英粉,則其在工業(yè)上將有許多可應(yīng)用之用途。
針對(duì)熔煉過(guò)后之二氧化矽坩堝廢料,進(jìn)行再生純化制程的相關(guān)研究,并期望能達(dá)到廢棄坩堝再生利用之目標(biāo)
實(shí)驗(yàn)之初,先將坩堝碎片徹底清洗及陰干后,經(jīng)粉碎機(jī)加以反覆粉碎兩次,然后進(jìn)行強(qiáng)
力磁選以去除因粉碎時(shí)鋼刀鐵屑的殘留,再加入鹽酸進(jìn)行酸洗與過(guò)水洗凈的處理,最后加以
烘干即成為實(shí)驗(yàn)之二氧化矽原始物料。
首先將二氧化矽粉末與礦化劑(氫氧化鈉溶液)以1:4的容積比放入反應(yīng)釜中再放置于恒溫烘箱,
并升溫至操作溫度后持溫時(shí)間24小時(shí),使二
氧化矽粉末能充分溶解與析出再結(jié)晶,然后關(guān)烘箱電源、于烘箱中行自然冷卻至室溫
經(jīng)水熱制程反應(yīng)后之石英結(jié)晶粉末會(huì)有夾雜鈉污染現(xiàn)象的存在,故需對(duì)鈉元素的去除
做處理,因而利用高溫升降氣氛爐與石英管爐來(lái)進(jìn)行后續(xù)純化制程的研究。
高溫升降氣氛爐之反應(yīng)流程圖,借升溫至1500℃以高溫燃燒方式來(lái)達(dá)到除鈉純化之目的,全
程通入氬氣作為保護(hù)氣氛。于圖(3)所示為石英管爐之反應(yīng)流程圖,將水熱反應(yīng)后之石英結(jié)
晶粉末置于石英管爐中,先升溫至1010℃溫度、持溫4 小時(shí)并通入熱鹽酸反應(yīng),然后升溫至
1030℃使用真空幫浦抽真空1 小時(shí)來(lái)達(dá)到氣化純化的效果
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