本文標(biāo)題:"多種不同功能的量測(cè)工具顯微鏡-微小振動(dòng)的量測(cè)"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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多種不同功能的量測(cè)工具顯微鏡-微小振動(dòng)的量測(cè)
然而原先使得遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)顯微鏡加值的技術(shù)(如共焦術(shù)、光子穿隧顯微術(shù)、干涉術(shù)等)卻沒(méi)有充分地
與近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)結(jié)合,因此本計(jì)畫(huà)主要提出將嘗試結(jié)合近場(chǎng)光學(xué)術(shù)(near-fieldmicroscopy)、
光子穿隧顯微術(shù)(photontunnelingmicroscopy)、干涉術(shù)(interferometry)三大技術(shù),
經(jīng)由對(duì)前項(xiàng)技術(shù)做更詳細(xì)的討論后,提出創(chuàng)新整合架構(gòu)來(lái)達(dá)成全新的量測(cè)系統(tǒng),
以求能有機(jī)會(huì)以光學(xué)顯微系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)微小振動(dòng)的量測(cè)。
建構(gòu)一套結(jié)構(gòu)剛性佳且穩(wěn)定性高的基礎(chǔ)顯微鏡架構(gòu),開(kāi)發(fā)多項(xiàng)功能以求同時(shí)能承載多種不同功能的量測(cè)系統(tǒng);
共焦光學(xué)顯微鏡與光子穿隧顯微鏡,即是以一傳統(tǒng)的反射式光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ),
將共焦光學(xué)顯微鏡之光路系統(tǒng)架構(gòu)于其中,同時(shí)也以同一顯微鏡基礎(chǔ),
利用光子穿隧效應(yīng)接近近場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)的架構(gòu),研制了光子穿隧顯微鏡,
提供了一套擁有雙重功能的顯微鏡系統(tǒng)。通常一套共焦光學(xué)顯微鏡或光子穿隧顯微鏡,
在半導(dǎo)體廠(chǎng)用于檢測(cè)薄膜厚度的橢偏儀,亦是需要花費(fèi)數(shù)百萬(wàn)之譜,
因此,想要同時(shí)擁有數(shù)種不同的精密量測(cè)設(shè)備
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